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真空(压力)铸锭炉(晶体)
真空(压力)铸锭炉(晶体)
产品描述:
真空(压力)铸锭炉(晶体)主要用于晶体铸锭。
应用范围:
石英晶体、硅晶体及其他晶体

真空(压力)铸锭炉(晶体)技术特征

采用特殊的炉胆结构和加热器布置,炉温均匀性好;

设置上下控温,实现工艺温度精密控制;

采用动密封技术,能精密控制坩埚移动;

采用先进的控制技术,能精密控制炉内压力,炉膛内压力波动小;

设备采用多级安全保护;

锁圈采用液压驱动,并配有机械限位,安全可靠;

炉门的开启采用液压手动或自动开启,操作简单;

具有超温超压等故障报警,机械式自动压力保护,动作互锁等功能,设备安全性高。

真空(压力)铸锭炉(晶体)产品规格

型号/参数VIC-1252VIC-1807VIC-2007
工作区尺寸
D×H(mm)
φ1200×520φ1800×700φ2000×700
最高温度(℃)1500-20001500-20001500-2000
温度均匀性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa)1-1001-1001-100
最高压力(MPa)2-62-62-6
压升率(pa/h)0.670.670.67

真空(压力)铸锭炉(晶体)配置选择

结构形式:上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全碳钢/全不锈钢/压力容器钢材

保温材质:碳纤维保温材料/陶瓷保温材料

加热器:等静压石墨/金属

热电偶:C分度号(钨套管/钼套管/陶瓷套管)

红外仪:单比色/双比色

适于工艺气氛:N2/Ar。

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