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热解石墨沉积炉
热解石墨沉积炉
产品描述:
热解石墨沉积炉主要用于石墨、半导体器件、耐热冲刷材料的表面热解炭涂层制备
应用范围:
石墨、半导体器件、耐热冲刷材料

热解石墨沉积炉技术特征

电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;

采用智能压力调控,压力波动小;

全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强; 

多通道工气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,环境友好,易清理;

可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高;

适于工艺气氛:真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。

热解石墨沉积炉产品规格

参数\型号VCVD-0305-CVCVD-0505-CVCVD-0608-CVCVD-0612-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1218-CVCVD-1520-C
工作区尺寸 φ×H(mm)300×500500×500600×800600×1200800×12001100×20001200×18001500×2000
最高温度(℃)23002300230023002300230023002300
温度均匀性(℃)±5±5±5/±7.5±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

热解石墨沉积炉配置选择

结构形式:立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC

红外仪:单比色/双比色

电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)

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半导体材料热工装备

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