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晶体高温热处理炉
晶体高温热处理炉
产品描述:
晶体高温热处理炉主要用于晶体制品在保护气氛下的高温纯化处理
应用范围:
晶体制品

晶体高温热处理炉技术特征

电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;

电阻炉采用beplay体育app下载专属超高温、大电流引电技术,能在高温条件下长时间稳定使用,也可采用感应加热方式;

可选配全密闭马弗室,密封效果好,抗污染能力强;

多级高效尾气处理系统,环境友好,易清理;

适于工艺气氛:真空/H2/N2/Ar。

晶体高温热处理炉产品规格

参数\型号HVG-100510HVG-130515HVG-151530HVG-201840VVG-1120VVG-1520VVG-2020VVG-3012
工作区尺寸 W×H×L(mm)1000×500×10001300×500×15001500×1500×30002000×1800×40001100×20001500×20002000×20003000×1200
最高温度(℃)20002000200020002000200020002000
温度均匀性(℃)±5±7.5±10±15±10/±15±10/±15±15/±20±10/±15
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻电阻电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

晶体高温热处理炉配置选择

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC

热电偶:C分度号

红外仪:单比色/双比色

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组

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